Share
تحضير اغشية اوكسيد الانديوم بالترذيذ المستمر واستخدامه كمتحسس غازي == Synthesis of Indium Oxide Thin Film By DC - Sputtering For Gas Sensing Application
Author name:
نور مالك سعدون الموسوي
Supervisor name:
سارية ذياب محمد العلكاوي | سلمى محمد حسين الجواد
General topic:
Physics
Specific topic:
Applied Physics
Degree:
Master
University:
University of Technology
Language:
English
University location:
Baghdad
First pages:
26T1462 - p.pdf
Abstract:
في هذا المشروع تم تصنيع متحسس غازي بطريقة تمتاز بكفاءتها وامكانية السيطرة على الحجم الحبيبي للغشاء المحضر., درست تاثير المعاملات المختلفة ( درجة حرارة التلدين والتشويب) على خصائص اغشية In2O3 المحضرة. كما تضمن البحث دراسة وتحليل الخصائص التركيبية وهيئة الس | In this project In2O3, ITO/ Si gas sensor were fabricated by an efficient and size - controlled. Many parameters have been study to proved the optimum conditions,(annealing temperatures, and doping concentration). Structural, optical and electrical proper