مشاركة
تصميم وبناء الماكنترون غير المستقر ذي المجال المغلق لمنظومة البلازما لتحضير كاشف الاغشية الرقيقة النانوية == Design And Construction of Closed Field Unbalanced Magnetron of Plasma System To Prepare Nano Film Detector
اسم المؤلف:
عدي عطا حمادي
اسم المشرف:
فراس جواد كاظم | محمد خماس خلف
الموضوع العام:
علوم الفيزياء
السنة:
2014
الموضوع الدقيق:
الفيزياء
الدرجة:
دكتوراه
الجامعة:
جامعة بغداد
اللغة:
الانكليزية
مكان الجامعة:
بغداد
الصفحات الاولى:
26T1466 - p.pdf
المستخلص:
تم في هذا العمل تصميم وبناء مجمع الماكنترون المزدوج غير المستقر ذي المجال المغلق لغرض استخدامه في منظومة الترذيذ المستمر بالبلازما وقد جرى قياس التوزيع الفضائي للمجال المغناطيسي بين قطبي المنظومة ونمذجته لغرض تحديد التاثيرات الناجمة عن تغيير شكل المجمعين | In the present work, closed - field unbalanced dual magnetron (CFUBDM) system was designed and constructed to be employed in a dc plasma sputtering system. The spatial distribution of magnetic field between the two electrodes was measured and the maximum
