تصميم وبناء الماكنترون غير المستقر ذي المجال المغلق لمنظومة البلازما لتحضير كاشف الاغشية الرقيقة النانوية == Design And Construction of Closed Field Unbalanced Magnetron of Plasma System To Prepare Nano Film Detector
Author name:
عدي عطا حمادي
Supervisor name:
فراس جواد كاظم | محمد خماس خلف
General topic:
Physics
Specific topic:
Physics
Degree:
Doctorate
University:
University of Baghdad
Language:
English
University location:
Baghdad
First pages:
26T1466 - p.pdf
Abstract:
تم في هذا العمل تصميم وبناء مجمع الماكنترون المزدوج غير المستقر ذي المجال المغلق لغرض استخدامه في منظومة الترذيذ المستمر بالبلازما وقد جرى قياس التوزيع الفضائي للمجال المغناطيسي بين قطبي المنظومة ونمذجته لغرض تحديد التاثيرات الناجمة عن تغيير شكل المجمعين | In the present work, closed - field unbalanced dual magnetron (CFUBDM) system was designed and constructed to be employed in a dc plasma sputtering system. The spatial distribution of magnetic field between the two electrodes was measured and the maximum
