تصميم حاسوبي لحزمة ايونية مركزة للمنظومة الليثوغرافية == Computer - Aided - Design Of Focused Ion Beam For a Lithography System
Author name:
فاضل عبد العباس علي السهلاني
General topic:
Physics
Specific topic:
Physics
Degree:
Doctorate
University:
Al-Nahrain University - College Of Science - Physics Department
Language:
English
University location:
Baghdad
First pages:
26T1750 - p.pdf
Abstract:
تم بناء تصميم متكامل بمساعدة الحاســــــــوب وباســـتخدام الطرق الامثلـــــــية لمنظومة بصــــرية ايونيــة ، وذلك بدمــــج طريقة البرمجة الديناميكية مــــــع طريقة تقنية الذكاء الاصطناعى.فقد تم الحصول على معامــــــلات الزيوغ النســـــبية الكروية واللونية اســــــــتنادا الى معامـــل الهــــــيـئة للمنظومات البصرية المثلى ، وحســـــــــب الاتى : ا. تصميم عدســـة مفردة ( كهربائية ومغناطيســــية).ب. تصميم منظومة بصرية مكونة من عدســتين كهربائيتين.ت. تصميم منظومة بصرية مكونة من ثلاث عدسات كهربائيات.ث. تصميم منظومة بصرية مختلطة العدسات (كهربائية ومغناطيســــية).كذلك تم تصميم اربعة انواع من العدسات الكهروستاتيكية مع نموذج لعدســة مغناطيســــية لاصــغر زيوغ بصرية ( المرتبة البصرية الاولى والثالثة) ، حيث تم اعادة بناء الاقطاب الكهربائية والمغناطيسية ثم رسمها لبعدين وثلاث ابعاد ببرنامج المحاكاة (SIMION(7 ، وبالاعتماد على قاعدة البيانات المخزونة (قاعدة المعرفة).هذه العدسات هى كما ياتى : • عدســة احادية الجهد (1) فى نمط التباطىء .• عدســة احادية الجهد (2) فى نمط التعجيل .• عدســة مغمــــورة.• عدســة الحاجــــــز.• عدســة مغناطيســــــية (1). تـــــم تصميم وكتابـــة الحزمة البرمجية بلغة الجافا منظومة الخبير (JESS) والبيســــــــك المرئى النســـــخة السادســـة (VB 6) اســتوديو ، وذلك للتحليل والحصول على حسابات الامثلية الكاملة للمنظومة البصرية الايونية.حيث تم تســمية تلك الحزمة CADION .ايضا تم استخدام توزيع الجهد المحورى الامثل لكلا المجالين الكهروستاتيكى والمغناطيسى ، بالاعتماد على الشـــــروط المحددة لبناء وتركيب العمود البصرى المكون من عدســـتين وثلاث عدسات ومختلط العدسات. تـــم حساب حجم البقعة لقياسات النانومتر وتم الحصول على قيم تقترب الى (3.0) نانومتر المســـــــــتخدمة فى تطبيقات تقنية النانومتر. وكذلك تــم اقتراح تعاريف ومفردات لبصريات الجســـيمات المشــــحونة باعتبار بعض النتائج محققة لعلاقة شـــــــبيهة بمدا اللادقـــــة. | A complete computer aided design (CAD) by using optimization methods for the ion optical systems have been developed, by mixing the dynamic programming procedure and artificial intelligence technique. The relative spherical and chromatic aberrations coefficients were obtained according to figure of merit for the following optimized optical systems : a. Single - lens design (electrostatic and magnetic). b. Two - lens system consists of two electrostatic lenses. c. Three - lens system consists of three electrostatic lenses.d. Multi - lens system (electrostatic and magnetic).Four types of electrostatic lenses and a magnetic lens model were designed as small as possible of optical properties (i.e. the first and third optical properties), and reconstructions of electrodes and pole pieces were plotted in two and three dimensions graphics by using SIMION 7.0 simulator depending on the stored database (i.e. knowledge base).These lenses are as follows : • Unipotential lens 1 (operated in deceleration mode).• Unipotential lens 2 (operated in acceleration mode).• Immersion lens.• Diaphragm lens.• Magnetic lens. Present software has been designed and written in Java expert system shell (JESS) and Visual Basic 6 (VB6) for optimizing and analyzing full calculation processes, it has called CADION package. The optimized axial potential distributions for both electrostatic and magnetic fields according to the constraints have been used in the optical column setup, which are two - lens system, three - lens system and multi - lens system. Spot size measurements were calculated in nano scales, which have values closed to (3.0) nm applicable in nano technology applications used in lithographic systems. Also, the present work has been suggested definitions and abbreviations in charged particle optics to be consider some of the results, as a verification of the uncertainty principle relationship like
